Das IMS Chips Institut für Mikroelektronik Stuttgart erhält vom Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Wohnungsbau eine Förderung für die Umstellung der Forschungsinfrastruktur in Höhe von drei Millionen Euro. Dies gab Wirtschaftsministerin Dr. Nicole Hoffmeister-Kraut in Stuttgart bekannt. „Das IMS Chips ist als landesweites Kompetenzzentrum für intelligente Mikrochips eine unverzichtbare Einrichtung der wirtschaftsnahen Forschungsinfrastruktur in Baden-Württemberg“, so die Ministerin.
Die geförderte Anschaffung eines sogenannten „Step&Repeat-Belichters“ mit Kosten in Höhe von 4,5 Millionen Euro bildet den Abschluss des Projekts „Umstellung der Forschungsinfrastruktur auf die 8-Zoll-Wafertechnolgie“. Denn um am Markt wettbewerbsfähig zu bleiben, muss das IMS Chips von der bisher eingesetzten 6-Zoll-Wafertechnolgie bis Ende 2020 auf die gängige 8-Zoll-Technologie umrüsten. Mit der Anschaffung des Geräts kann das IMS Chips nun auf den Wafern Strukturen mit einer Dicke von 0,5 µm und weniger herstellen.
„Das IMS Chips ist für unsere Industrie ein wichtiges Kompetenzzentrum im Bereich der Silizium-Wafer-Technologie. Voraussetzung hierfür ist aber, dass die Forschungsinfrastruktur den in der Industrie gängigen Standards entspricht. Vor diesem Hintergrund ist die Umstellung auf die 8-Zoll-Technologie unverzichtbar“, so Hoffmeister-Kraut. Im Jahr 2017 wurden bereits zwei Gerätetranchen mit einer Zuwendung in Höhe von insgesamt 4,4 Millionen Euro vom Wirtschaftsministerium gefördert.
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Das IMS Chips ist eine von dreizehn Vertragsforschungseinrichtungen der baden-württembergischen Innovationsallianz (InnBW, www.innbw.de). Die Stuttgarter Forscher unterstützen zahlreiche Industrieunternehmen – insbesondere kleine und mittlere Unternehmen – mit technologischen Lösungen aus den Bereichen Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik, Nanostrukturierung sowie anwendungsspezifischer Schaltkreise und bildgebender Sensorik. Bei der Erforschung und Entwicklung neuer Verfahren zur Herstellung von Mikrochips und Nanostrukturen hat das IMS Chips eine führende Position. Damit leistet das Institut einen wichtigen Beitrag zur Umsetzung von Ergebnissen und Technologien aus Forschung und Entwicklung in die industrielle Praxis. Diese Technologien haben eine weitreichende Bedeutung für Anwendungen in den Schlüsselbranchen des Landes wie beispielsweise die Elektronik- und Elektrotechnikindustrie, den Fahrzeug-, Maschinen- und Anlagenbau, die Informations- und Kommunikationstechnik oder die Medizintechnik.
