Das Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Tourismus fördert mit insgesamt 8,38 Millionen Euro die Anschaffung eines Elektronenstrahldirektschreibers (E-Beam-Schreiber) und weiterer Instrumente in den Reinräumen des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart (IMS Chips).
Mit den Investitionen soll die am Institut vorhandene Infrastruktur zur großflächigen und flexiblen Herstellung und Charakterisierung verschiedener Nanostrukturen ausgebaut werden. Die Mittel stammen aus dem Programm „REACT-EU“ der Europäischen Union, das bei der Krisenbewältigung der COVID-19-Pandemie unterstützt.
„Die Mittel aus REACT-EU ermöglichen uns gezielte Investitionen, vor allem in der wirtschaftsnahen Forschung der Innovationsallianz Baden-Württemberg (innBW). Damit unterstützen wir die hohe Innovationskraft und Wettbewerbsfähigkeit der baden-württembergischen Wirtschaft in den Bereichen Digitalisierung und Klimaschutz und bauen sie weiter aus“, sagte Wirtschaftsministerin Dr. Nicole Hoffmeister-Kraut anlässlich der Bewilligung.
Mit der Anschaffung des E-Beam-Schreibers und weiterer Instrumente soll beim IMS Chips die Infrastruktur zur großflächigen Erzeugung mehrdimensionaler Nanostrukturen in und auf unterschiedlichen Substraten und Materialien erweitert werden. Das Vorhaben ermöglicht die variable Herstellung unterschiedlicher Nanostrukturen, die von Unikaten für die Forschung bis hin zu Mastern für replizierende Prozesse auf Flächen von wenigen Quadratmillimetern bis hin zur vollen Fläche von 200 Quadratmillimeter großen Wafern reichen. Anwendungen für diese Nanostrukturen finden sich in unterschiedlichen Bereichen, zum Beispiel in der Photonik, Optik und Diagnostik. Ziel ist es, neuartige Quantensensoren für den Einsatz in der Medizin- und Umwelttechnik zu entwickeln.
Hoffmeister-Kraut: „Das Projekt leistet einen wesentlichen Beitrag zur Umsetzung der Innovationsstrategie des Landes im Bereich der Quantentechnologie und versetzt das IMS Chips in die Lage, zu einem Treiber für Innovationen und Entwicklung neuer Produkte in diesem Zukunftsfeld zu werden.“ Die Geräteinvestitionen, die dem wissenschaftlichen Fortschritt auf dem Gebiet der Halbleitertechnologien wie der neuartigen Quantensensorik entsprechen, ermöglichen dem IMS Chips, einen Beitrag zur Stärkung der Digitalisierung und der Nachhaltigkeit zu leisten.
Ziel ist Übergang zu einer klimafreundlichen, digitalen und resilienten Wirtschaft
„Die Corona-Pandemie hat unsere Wirtschaft und unseren Arbeitsmarkt hart getroffen. Herausforderungen wie die Beschleunigung der Digitalisierung und die Transformation von Industrie und Gesellschaft hin zu einer CO2-freien Wirtschaft haben sich durch die Krise nochmals sehr stark verdeutlicht. Für die Mittel der EU sind wir sehr dankbar. Sie helfen uns entscheidend dabei, Projekte für den Übergang zu einer klimafreundlichen, digitalen und resilienten Wirtschaft auf den Weg zu bringen“, so die Ministerin.
Die Mittel aus REACT-EU ermöglichen es dem Wirtschaftsministerium, Vorhaben umzusetzen, die sonst nur schwer oder gar nicht hätten ermöglicht werden können, weil keine Bundes- oder Landesmittel eingesetzt werden können oder nicht zur Verfügung stehen. Die Förderung aus REACT-EU ist umso hilfreicher, als keine ergänzende Kofinanzierung seitens des Landes oder der Zuwendungsempfänger nötig ist. „Mit diesen Vorhaben setzen wir zielgerichtet Impulse mit möglichst hoher Multiplikator-Wirkung für eine stabile Erholung der Wirtschaft im Sinne des European Green Deal. Zugleich unterstützen wir die Innovationsfähigkeit insbesondere unserer kleinen und mittleren Unternehmen“, so Hoffmeister-Kraut.
REACT-EU steht für „REcovery Assistance for Cohesion and the Territories of EUrope“ (Aufbauhilfe für den Zusammenhalt und die Gebiete Europas) und ist Teil des Aufbauinstruments „NextGenerationEU“, mit dem die EU 750 Milliarden Euro zur Bewältigung der Corona-Pandemie und ihrer wirtschaftlichen und sozialen Folgen bereitstellt. REACT-EU wird in Baden-Württemberg unter anderem über das Programm des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) umgesetzt, an dem das Wirtschaftsministerium beteiligt ist. In einer ersten Tranche aus REACT-EU stehen dem Wirtschaftsministerium 47 Millionen Euro zur Förderung von Forschungsinfrastruktur mit Ausrichtung auf den Übergang zu einer digitalen und CO2-neutralen Wirtschaft zur Verfügung.
Das IMS Chips unterstützt zahlreiche Industrieunternehmen – insbesondere kleine und mittlere Unternehmen – mit technologischen Lösungen aus den Bereichen Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik, Nanostrukturierung sowie anwendungsspezifischer Schaltkreise und bildgebender Sensorik. Bei der Erforschung und Entwicklung neuer Verfahren zur Herstellung von Mikrochips und Nanostrukturen hat das IMS Chips eine führende Rolle. Ebenso leistet das Institut einen wichtigen Beitrag bei der Umsetzung von Ergebnissen und Technologien aus der Forschung und Entwicklung in die industrielle Praxis. Diese Technologien haben eine weitreichende Bedeutung für Anwendungen in den Schlüsselbranchen des Landes wie die Elektronik- und Elektrotechnikindustrie, der Fahrzeug-, Maschinen- und Anlagenbau, die Informations- und Kommunikationstechnik oder die Medizintechnik.
Das IMS Chips ist Mitglied der Innovationsallianz Baden-Württemberg e.V. (innBW). Die 12 Institute der Innovationsallianz sind wichtige Partner der Wirtschaft im Technologietransfer und bilden eine Brücke zwischen Grundlagenforschung und der Entwicklung in Unternehmen. Sie forschen erfolgreich in den Wachstumsfeldern der Zukunft, entlang derer die neue Landesregierung ihre Technologiepolitik ausrichtet. Das fachliche Spektrum der Forschungsarbeit reicht von Mikroelektronik, Informatik, Biotechnologie und Medizintechnik bis hin zu Lasertechnik und erneuerbaren Energien. Die Institute der Innovationsallianz werden durch das Wirtschaftsministerium jährlich mit insgesamt rund 36 Millionen Euro grundfinanziert.
